Для получения низкоомных резистивных слоев с широким диапазоном удельного сопротивления и положительным температурным коэффициентов сопротивления порядка 10-5 град-1, обладающих коррозионной стойкостью и способностью к адгезии, методом взрывного испарения с вольфрамового испарителя.